Nano- And Micro-Metrology
16-17 June 2005, Munich, Germany
Edición de la obra Nano- And Micro-Metrology
| Autor | SPIE |
|---|---|
| Editorial | SPIE-International Society for Optical Engine |
| Fecha de publicación | January 2005 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 1 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780819458582 |
| ISBN-10 | 0819458589 |
| LCCN | 2005284352 |
| Número de Cutter | S755n |