MOEMS and miniaturized systems III
27-29 January 2003, San Jose, California, USA
Edición de la obra MOEMS and miniaturized systems III
| Autor | James H. Smith |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 368 |
| ISBN-10 | 0819447838 |
| OCLC | 51894276 |
| LCCN | 2003544708 |
| Serie | SPIE proceedings series, · v. 4983 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |