Mikromechanik
Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
Edición de la obra Mikromechanik
| Autor | Anton Heuberger |
|---|---|
| Editorial | Springer |
| Fecha de publicación | October 17, 1994 |
| Idioma | alemán |
| Páginas | 501 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9783540187219 |
| ISBN-10 | 3540187219 |
| Número de Cutter | H592m |