Micromachining and microfabrication process technology XIV
27 January 2009, San Jose, California, United States
Edición de la obra Micromachining and microfabrication process technology XIV
| Autor | Mary Ann Perez-Maher, Jung-Chih Chiao, Paul J. Resnick |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2009 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9780819474506 |
| ISBN-10 | 0819474509 |
| OCLC | 318214136 |
| LCCN |