Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII
22-23 January 2008, San Jose, California, USA
Edición de la obra Micromachining and Microfabrication Process Technology XIII
| Autor | Mary Maher, Jung-Chih Ann Chiao, Paul Resnick |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2008 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 150 |
| ISBN-13 | 9780819470577 |
| LCCN | 2010455194 |
| Número de Cutter | M214m |