Micromachining and microfabrication process technology X
25-27 January 2005, San Jose, California, USA
Edición de la obra Micromachining and microfabrication process technology X
| Autor | Mary Ann Perez-Maher |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2005 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 200 |
| ISBN-10 | 0819456896 |
| OCLC | 59144869 |
| LCCN | 2005299098 |
| Serie | Proceedings of SPIE, · v. 5715 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |