Micromachining and microfabrication process technology VIII
27-29 January, 2003, San Jose, California, USA
Edición de la obra Micromachining and microfabrication process technology VIII
| Autor | Mary Ann Perez-Maher |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 604 |
| ISBN-10 | 081944779X |
| OCLC | 52054641 |
| LCCN | 2004296874 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4979 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |