Micromachining and microfabrication process technology VI
18-20 September 2000, Santa Clara, USA
Edición de la obra Micromachining and microfabrication process technology VI
| Autor | SPIE |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 524 |
| ISBN-10 | 0819438308 |
| OCLC | 45409965 |
| LCCN | 2001267487 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4174 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |