Micromachining and microfabrication process technology V
20-22 September, 1999, Santa Clara, California
Edición de la obra Micromachining and microfabrication process technology V
| Autor | James H. Smith |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1999 |
| Lugar | Bellingham, Washington |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 434 |
| ISBN-10 | 081943471X |
| OCLC | 42869812 |
| LCCN | 00266008 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 3874 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |