Micromachining and microfabrication process technology IX
27-29 January 2004, San Jose, California, USA
Edición de la obra Micromachining and microfabrication process technology IX
| Autor | Mary Ann Perez-Maher |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2004 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 276 |
| ISBN-10 | 0819452505 |
| OCLC | 54679658 |
| LCCN | 2004301522 |
| Serie | SPIE proceedings series, · v. 5342 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |