Micromachining and microfabrication process technology IV
21-22 September, 1998, Santa Clara, California
Edición de la obra Micromachining and microfabrication process technology IV
| Autor | James H. Smith |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1998 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 402 |
| ISBN-10 | 0819429708 |
| OCLC | 39930212 |
| LCCN | 99200342 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 3511 · Proceedings of SPIE--the International Society of Optical Engineering ; |