Micromachined devices and components VI
18-19 September 2000, Santa Clara, USA
Edición de la obra Micromachined devices and components VI
| Autor | Eric Peeters, Oliver Paul |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 282 |
| ISBN-10 | 0819438324 |
| OCLC | 45410188 |
| LCCN | 2001267697 |
| Serie | SPIE proceedings series ; v. 4176 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; · v. 4176. |