Microlithographic techniques in integrated circuit fabrication II
28-30 November 2000, Singapore
Edición de la obra Microlithographic techniques in integrated circuit fabrication II
| Autor | Chris A. Mack |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 194 |
| ISBN-10 | 0819438987 |
| OCLC | 46338316 |
| LCCN | 2001277535 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4226 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |