Microlithographic techniques in IC fabrication
25-26 June, 1997, Singapore
Edición de la obra Microlithographic techniques in IC fabrication
| Autor | Chris A. Mack |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 1997 |
| Lugar | Bellingham, Washington |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 264 |
| ISBN-10 | 0819426105 |
| OCLC | 37706392 |
| LCCN | 98122037 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 3183 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |