Microelectronics processing
chemical engineering aspects
Edición de la obra Microelectronics processing
| Autor | Dennis W. Hess |
|---|---|
| Editorial | American Chemical Society |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Lugar | Washington, DC |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 547 |
| ISBN-10 | 0841214751 |
| OCLC | 19623575 |
| LCCN | 89006862 |
| Serie | Advances in chemistry series, · 221 |
| Número de Cutter | H586m |