Micro process engineering
fundamentals, devices, fabrication, and applications
Edición de la obra Micro process engineering
| Autor | Norbert Kockmann |
|---|---|
| Editorial | Wiley-VCH, John Wiley [distributor]] |
| Fecha de publicación | 2006 |
| Lugar | Weinheim, [Chichester |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 507 |
| ISBN-10 | 3527312463 |
| LCCN | 2006296404 |
| Serie | Advanced micro & nanosystems : -- 5. |
| Número de Cutter | K76m |