Micro mechanical systemsprinciples and technologyEdición de la obra Micro mechanical systemsAutorT. Fukuda, W. MenzEditorialElsevierFecha de publicación1998LugarAmsterdam, New YorkIdiomainglésPáginas268ISBN-100444823638OCLC183633551LCCN98020529SerieHandbook of sensors and actuators ; · v. 6