Metallization
theory and practice for VLSI and ULSI
Edición de la obra Metallization
| Autor | S. P. Murarka |
|---|---|
| Editorial | Butterworth-Heinemann |
| Fecha de publicación | 1993 |
| Lugar | Boston |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 250 |
| ISBN-10 | 0750690011 |
| LCCN | 92033603 |
| Número de Cutter | M972m |