MEMS/MOEMS components and their applications
26-27 January, 2004, San Jose, California, USA
Edición de la obra MEMS/MOEMS components and their applications
| Autor | Siegfried W. Janson |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2004 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 232 |
| ISBN-10 | 0819452521 |
| OCLC | 54683936 |
| LCCN | 2004301519 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 5344 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |