MEMS/MOEMS
advances in photonic communications, sensing, metrology, packaging and assembly : 28-29 October 2002, Brugge, Belgium
Edición de la obra MEMS/MOEMS
| Autor | [name missing] |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 203 |
| ISBN-10 | 0819447404 |
| OCLC | 52149084 |
| LCCN | 2004268394 |
| Serie | Proceedings of SPIE, · v. 4945 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter | M678m |