MEMS/MOEMS
advances in photonic communications, sensing, metrology, packaging and assembly ; 28-29 October 2002, Brugge, Belgium
Edición de la obra MEMS/MOEMS
| Autor | [name missing] |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2003 |
| Lugar | Bellingham, WA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 203 |
| ISBN-10 | 0819447404 |
| Número de Cutter | M678m |