MEMS Materials and Processes Handbook
Edición de la obra MEMS Materials and Processes Handbook
| Autor | Reza Ghodssi |
|---|---|
| Editorial | Springer Science+Business Media, LLC |
| Fecha de publicación | 2011 |
| Lugar | Boston, MA |
| Idioma | inglés |
| Formato | [electronic resource] / |
| ISBN-13 | 9780387473161, 9780387473185 |
| LCCN | 2011921730 |
| Serie | MEMS Reference Shelf |
| Número de Cutter | G427m |