MMEMSMEMSpowerhouse for growth in sensors, actuators, and control systems.Edición de la obra MEMSAutorSavageEditorialWileyFecha de publicación1999LugarEnglewood, NJIdiomainglésPáginas175ISBN-100471344680OCLC42306766LCCN00703278SerieTechnical insights ; · R-245Número de CutterS263mVer todas las ediciones de esta obra →