Materials for mechanical and optical microsystems
symposium held December 4-5, 1996, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Edición de la obra Materials for Mechanical and Optical Microsystems
| Autor | M. Elwenspoek, Ernst Obermeier, H. Fujita |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1997 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 242 |
| ISBN-10 | 1558993487 |
| OCLC | 36407768 |
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