Materials and Processes for Next Generation Lithography
Edición de la obra Materials and Processes for Next Generation Lithography
| Autor | Alex Robinson, Richard Lawson |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 2016 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 634 |
| ISBN-13 | 9780081003541 |
| OCLC | 1066426047 |
| Número de Cutter | R658m |