Lithography for VLSI
VLSI Electronics Microstructure Science
Edición de la obra Lithography for VLSI
| Autor | Norman G. Einspruch, R. K. Watts |
|---|---|
| Editorial | Elsevier Science & Technology Books |
| Fecha de publicación | 2014 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9781483217826 |
| Número de Cutter | E35l |