Lithography for VLSI
Edición de la obra Lithography for VLSI
| Autor | Norman G. Einspruch, R. K. Watts |
|---|---|
| Editorial | Academic Press |
| Fecha de publicación | 1987 |
| Lugar | Orlando |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 361 |
| ISBN-10 | 0122341163 |
| OCLC | 15016955 |
| LCCN | 86032156 |
| Serie | VLSI electronics ; · v. 16 |
| Número de Cutter |