Lithography for Semiconductor Manufacturing
Proceedings 19-21 May 1999 Edinburgh, Scotland (Proceedings Europt Series)
Edición de la obra Lithography for Semiconductor Manufacturing
| Autor | Chris A. Mack, Tom Stevenson |
|---|---|
| Editorial | Society of Photo Optical, SPIE |
| Fecha de publicación | April 1999 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 262 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780819432216 |
| ISBN-10 | 0819432210 |
| OCLC | 41549745 |
| LCCN |