Lithographic and micromachining techniques for optical component fabrication
29-30 July 2001, San Diego, USA
Edición de la obra Lithographic and micromachining techniques for optical component fabrication
| Autor | Hans Peter Herzig |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2001 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 324 |
| ISBN-10 | 0819441546 |
| OCLC | 48546510 |
| LCCN | 2002277171 |
| Serie | SPIE proceedings series ; · v. 4440 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |