Lasers in microlithography
2-3 March 1987, Santa Clara, California
Edición de la obra Lasers in microlithography
| Autor | Daniel J. Ehrlich |
|---|---|
| Editorial | The Society |
| Fecha de publicación | 1987 |
| Lugar | Bellingham, Wash., USA |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 192 |
| ISBN-10 | 0892528095 |
| OCLC | 16880907 |
| LCCN | 87060742 |
| Serie | Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; · v. 774 |
| Número de Cutter |