Laser processing of thin films and microstructures
oxidation, deposition, and etching of insulators
Edición de la obra Laser Processing of Thin Films and Microstructures
| Autor | Ian W. Boyd |
|---|---|
| Editorial | Springer-Verlag |
| Fecha de publicación | 1987 |
| Lugar | Berlin, New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 320 |
| ISBN-10 | 0387179518 |
| OCLC | 16404257 |
| LCCN | 87020660 |
| Serie | Springer series in materials science ; · 3 · Springer series in materials science ; |
| Número de Cutter |