Laser chemical processing for microelectronics
Edición de la obra Laser chemical processing for microelectronics
| Autor | R. M. Osgood |
|---|---|
| Editorial | Cambridge University Press |
| Fecha de publicación | 1989 |
| Lugar | Cambridge [England], New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 172 |
| ISBN-10 | 0521322545 |
| OCLC | 17383921 |
| LCCN | 87035864 |
| Serie | Cambridge studies in modern optics ; · 7 |
| Número de Cutter | O82l |