Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics
symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Edición de la obra Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics
| Autor | Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1988 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 509 |
| ISBN-10 | 0931837693 |
| OCLC | 17677382 |
| LCCN | 88005363 |
| Serie |