Ion Implantation Technology
Proceedings
Edición de la obra Ion implantation technology-92
| Autor | D. Downey, M. Farley, K. S. Jones |
|---|---|
| Editorial | North-Holland |
| Fecha de publicación | April 1993 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 700 |
| ISBN-13 | 9780444899941 |
| ISBN-10 | 0444899944 |
| Número de Cutter | D748i |