Ion implantation and beam processing
Edición de la obra Ion implantation and beam processing
| Autor | J. M. Poate |
|---|---|
| Editorial | Academic Press |
| Fecha de publicación | 1984 |
| Lugar | Sydney, New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 419 |
| ISBN-10 | 0127569804 |
| LCCN | 83071159 |
| Número de Cutter | P739i |