
Ion Implantation
Basics to Device Fabrication (The International Series in Engineering and Computer Science)
Edición de la obra Ion Implantation
| Autor | Emanuele Rimini |
|---|---|
| Editorial | Springer |
| Fecha de publicación | December 31, 1994 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 408 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9780792395201 |
| ISBN-10 | 0792395204 |
| Número de Cutter | R576i |