Ion Implantation
Basics To Device Fabrication
Edición de la obra Ion Implantation
| Autor | Emanuele Rimini |
|---|---|
| Editorial | Springer |
| Fecha de publicación | Feb 23, 2014 |
| Páginas | 408 |
| Formato | paperback |
| ISBN-13 | 9781461359524 |
| ISBN-10 | 146135952X |
| Número de Cutter | R576i |