Ion Implantation
Basics to Device Fabrication
Edición de la obra Ion Implantation
| Autor | Emanuele Rimini |
|---|---|
| Editorial | Springer |
| Fecha de publicación | Sep 30, 2011 |
| Páginas | 408 |
| Formato | paperback |
| ISBN-13 | 9781461522607 |
| ISBN-10 | 1461522609 |
| Número de Cutter | R576i |