Inside Prolith
A Comprehensive Guide to Optical Lithography Simulation (Inside Prolith)
Edición de la obra Inside Prolith
| Autor | Chris A. Mack |
|---|---|
| Editorial | Finle Technologies Inc |
| Fecha de publicación | February 1997 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 175 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9780965092203 |
| ISBN-10 | 0965092208 |
| OCLC | 51525536 |
| Número de Cutter | M153i |