In-Situ Patterning: Selective Area Deposition and Etching
Symposium Held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A. (Materials Research Society Symposium Proceedings)
Edición de la obra In-Situ Patterning: Selective Area Deposition and Etching
| Autor | Anthony F. Bernhardt |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | October 1990 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 496 |
| Formato | Hardcover |
| ISBN-13 | 9781558990463 |
| ISBN-10 | 1558990461 |
| Número de Cutter | B527i |