In-situ patterning
selective area deposition and etching : symposium held November 29-December 1, 1989, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Edición de la obra In-situ patterning
| Autor | R. Rosenberg |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1990 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 496 |
| ISBN-10 | 1558990461 |
| OCLC | 21334618 |
| LCCN | 90034801 |
| Serie | Materials Research Society symposium proceedings ; · v. 158 · Materials Research Society symposia proceedings ; |
| Número de Cutter |