Impurity diffusion and gettering in silicon
symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Edición de la obra Impurity diffusion and gettering in silicon
| Autor | Richard B. Fair, Charles W. Pearce |
|---|---|
| Editorial | Materials Research Society |
| Fecha de publicación | 1985 |
| Lugar | Pittsburgh, Pa |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 284 |
| ISBN-10 | 0931837014 |
| OCLC | 11971128 |
| LCCN | 85007226 |
| Serie |