Hf-Based High-K Dielectrics
Process Development, Performance Characterization, and Reliability
Edición de la obra Hf-Based High-K Dielectrics
| Autor | Young Hee Kim, Jack C. Lee |
|---|---|
| Editorial | Springer International Publishing AG |
| Fecha de publicación | 2007 |
| Idioma | inglés |
| ISBN-13 | 9783031014246 |
| Número de Cutter | K49h |