Hf-Based High-K Dielectrics
Process Development, Performance Characterization, and Reliability
Edición de la obra Hf-Based High-K Dielectrics
| Autor | Jack C. Lee, Young Hee Kim |
|---|---|
| Editorial | Morgan & Claypool Publishers |
| Fecha de publicación | 2006 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 92 |
| ISBN-13 | 9781598290059 |
| Número de Cutter | L478h |