Extreme Ultraviolet Lithography
From the Topical Meeting, May 1-3, 1996, Boston, Massachusetts (Osa Trends in Optics and Photonics)
Edición de la obra Extreme ultraviolet lithography
| Autor | Don R. Kania |
|---|---|
| Editorial | American Society of Civil Engineers |
| Fecha de publicación | January 1996 |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 235 |
| Formato | Paperback |
| ISBN-13 | 9781557524355 |
| ISBN-10 | 1557524351 |
| Número de Cutter | K16e |