Extreme ultraviolet lithography
from the topical meeting, May 1-3, 1996, Boston, Massachusetts
Edición de la obra Extreme ultraviolet lithography
| Autor | Don R. Kania |
|---|---|
| Editorial | The Society |
| Fecha de publicación | 1996 |
| Lugar | Washington, DC |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 235 |
| ISBN-10 | 1557524351 |
| OCLC | 36176256 |
| LCCN | 97136221 |
| Serie | OSA trends in optics and photonics ; · v. 4 |
| Número de Cutter |