Extreme ultraviolet lithography
Edición de la obra Extreme ultraviolet lithography
| Autor | Banqiu Wu |
|---|---|
| Editorial | McGraw-Hill, McGraw-Hill Education, McGraw Hill |
| Fecha de publicación | 2009 |
| Lugar | New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 482 |
| ISBN-13 | 9780071549189 |
| ISBN-10 | 0071549188 |
| OCLC | 244060505 |
| LCCN | 2009002187 |
| Número de Cutter | W959e |