Etching in microsystem technology
Edición de la obra Etching in microsystem technology
| Autor | J. M. Köhler |
|---|---|
| Editorial | Wiley-VCH |
| Fecha de publicación | 1999 |
| Lugar | Weinheim, New York |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 368 |
| ISBN-10 | 3527295615 |
| OCLC | 40684553 |
| LCCN | 99233639 |
| Número de Cutter | K79e |