Emerging lithographic technologies V
27 February-1 March, 2001, Santa Clara, [California], USA
Edición de la obra Emerging lithographic technologies V
| Autor | Elizabeth A. Dobisz |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2001 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 818 |
| ISBN-10 | 0819440299 |
| OCLC | 48153041 |
| LCCN | 2001279005 |
| Serie | Proceedings of SPIE ; · v. 4343 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |