Emerging lithographic technologies IV
28 February-1 March, 2000, Santa Clara, USA
Edición de la obra Emerging lithographic technologies IV
| Autor | Elizabeth A. Dobisz |
|---|---|
| Editorial | SPIE |
| Fecha de publicación | 2000 |
| Lugar | Bellingham, Wash |
| Idioma | inglés |
| Páginas | 900 |
| ISBN-10 | 0819436151 |
| OCLC | 44738861 |
| LCCN | 2001267776 |
| Serie | Proceedings of SPIE, · v. 3997 · Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; |
| Número de Cutter |